WIKA ist ein global agierendes Unternehmen im Bereich Druck- und Temperaturmesstechnik. Bei der Herstellung der Messgeräte unterliegen die filigranen Bauteile einer immer höheren Präzision, die sich auch an die Reinigungsanlagen und die damit verbundene Wasseraufbereitung stellt. Für die Produktionserweiterung hat WIKA in eine neue Ultraschall-Reinigungsanlage investiert. Die Anlage mit sieben Bädern ist mit aufbereitetem Wasser zu speisen. Das Ziel: Eine konstant hohe Wasserqualität für die Versorgung aller Entnahmestellen mittels Ringleitung und Puffertank. Für das Spülen im Strukturierungs- und im Lithographie-Tool wird Reinstwasser mit einer Temperatur von 60 °C benötigt. Die Wärme des Abwassers soll vor dem Einleiten in den Kanal mittels Wärmetauscher zurückgewonnen werden, um wiederum das Frischwasser vorzuwärmen. Neben einer guten Energiebilanz wurde auch die Verkeimungsverhinderung - ohne den ständigen Einsatz von Chemikalien - gefordert.

Nach eingehender Beratung wurde eine Wasseraufbereitung konzipiert, die die Entnahmestellen der Reinigungsanlage und weitere Abnehmer versorgt. Um während des Herstellungsprozesses der Wasseraufbereitungsanlage keine Partikel in die Anlage einzubringen, wurde die komplette Fertigung bei EnviroFALK in einem Sauberraum durchgeführt.
Neben der Entsalzung durch Umkehrosmose und Elektrodeionisation sorgen UV-Bestrahlung und Ultrafiltration für eine niedrige Keim- und Endotoxinbelastung. Um dies dauerhaft sicherzustellen, wurde die Anlage vor der Umkehrosmose in PP durch ein Infrarot-Schweißverfahren (IR) und permeatseitig in PVDF, durch eine wulst- und nutfreie Schweißung (WNF) ausgeführt.

Leistungsdaten:
- Leitwert <= 0,0565 µS/cm
- Silikatgehalt < 100 ppb
- TOC im unteren ppb-Bereich
- Partikel < 0,2 µm
- Spitzen-Entnahmen - 700 Liter Reinstwasser im 10-Minuten-Intervall

Zurück zur Übersicht